芯片技术制造的关键点主要有:1. 集成电路设计:这是芯片技术的基础,需要对芯片的功能、结构进行精心设计,对芯片性能有决定性影响。通常需要使用专业软件进行电路设计与仿真模拟。
2. 晶圆制造:需要在一块圆形的硅晶片上制造出许多相同的集成电路。主要通过光刻、蚀刻、薄化、掺杂等工艺来形成不同类型的FET器件和互连。这需要高度洁净的车间和制造设备。
3. 封装测试:将制造好的芯片与引脚进行封装,然后进行测试与分类,确保芯片满足设计要求。这也需要精密的设备与检测手段。
4. 光刻技术:光刻技术是 Transfer 集成电路图案到晶圆表面,形成一系列FET器件与线路的关键技术。主要使用光刻胶与紫外光完成。其分辨率的提高在芯片技术进步中起关键作用。
5. 新材料:如低氮化硅、二氧化硅绝缘体、铜互联等新材料的采用,不仅提高了芯片的性能,也促进了芯片技术的发展。
6. 新工艺:如浅槽隔离技术、金属间 dieletric 等新工艺的采用不断推进着芯片技术的进程。
7. 先进装备:如光刻机、CVD设备、离子注入仪、封测设备等的升级也在提高芯片的集成度与性能。综上,芯片技术的发展离不开集成电路的设计与制造。这需要光刻、新材料、新工艺与先进装备的紧密结合与相互促进,这些因素共同决定着芯片技术的水平与进步。